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当椅子、杯子也有了“眼睛”和“皮肤”…… 科

   如果有一天,你坐的椅子,喝水用的杯子也“长”了“眼睛”和“皮肤”,请不要诧异,这可能是MEMS新技术。4月19日上午,由苏州工业园区科技和信息化局主办的科技创享汇系列活动之一“传感世界,传感未来——中国新兴MEMS产业”在园区举行。活动上,苏州敏芯微电子技术有限公司(以下简称“苏州敏芯”)CEO李刚为大家带来新兴MEMS产业方面的精彩讲座。
    李刚作为苏州敏芯集成微型硅麦克风的post-CMOS集成工艺的发明者,有十年超净间的丰富工作经验,熟悉 CMOS工艺和MEMS工艺,参与过三轴加速度计传感器、集成浮栅可编程电容式微型硅麦克风、集成多晶硅压力传感器、集成惯性开关传感器等多项MEMS重大项目。

    讲座上,李刚为大家介绍,MEMS技术是用可批量制作的集微型机构、微型传感元件、微型执行器以及微电信号处理和控制电路为一体的自动化、智能化器件将电子系统与外部世界有机地联系起来。“这是一个很有想象力的产业。整个产业还处于初期阶段,大陆的MEMS产业链还未完全形成,产业链各个环节仍有战略卡位的机会,对中国MEMS初创企业来说,未来仍有足够的增量市场、市场代替以及细分市场机会;国内有大量落后的4寸及6寸半导体代工厂,比较适合从红海的半导体产业转型为蓝海的MEMS加工,此外,国内大量落后的IC封装厂也可以转型做特殊的MEMS封装;MEMS产业有宽广的研究范围,包括RF-MEMS,Bio-MEMS,NEMS,MOEMS,可靠性,封装,材料;大量的大学及研究所在国家项目的支持下,从事MEMS技术的研究工作;数量众多的华裔海归人才带来MEMS公司的工业经验,先进技术以及宽阔的视野;庞大的‘物联网’国家战略孕育着无穷的增量市场。”
    苏州敏芯于2007年成立,与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所合作进行MEMS压力传感器及微硅麦克风的量产工作,是中国大陆最早成立的MEMS创业公司之一,也是大陆最有影响力的MEMS初创公司,产品涵盖硅麦克风、硅压力传感器、加速度传感器、力传感器,还包括消费类电子、医疗、工业控制以及汽车电子等领域。该公司是目前唯一实现盈利的主战场在消费类的MEMS初创公司,在大陆MEMS初创公司中客户资源优质,是华润上华、中芯国际和华天的最大MEMS客户,还突破了国内一线手机品牌客户。2017年,由苏州敏芯研发生产的硅麦克风全球出货量第五,2018年预计全球出货量第四。